ГОСТ 25663-83

Группа Г82

     
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ

Методы испытаний

Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods

МКС 23.160

ОКП 62 9448

Дата введения 1984-01-01

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1068

2. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

3. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81*

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

5. Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 4-94)

6. ИЗДАНИЕ (май 2010 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в апреле 1984 г., ноябре 1988 г. (ИУС 8-84, 2-89)

Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и ГОСТ 26790.

(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).

1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из специальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в камере через равные промежутки времени при постоянной температуре.

1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.

1 - испытуемый насос; 2 - измерительная камера; 3 - измерительные преобразователи давления; 4 - натекатель; 5 - напускная трубка

Черт. 1

1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.

1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения измерительного преобразователя давления

Черт. 2