ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

     8 Процедура проведения измерений

8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры и записывают видеоизображение.

Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2, соответствует элементу рельефа, изображенному на рисунке 1.

Значения параметров, указанных на рисунке 2, определяют экспериментально путем обработки полученного видеопрофиля.

8.2 При сканировании исследуемого элемента рельефной меры необходимо, чтобы наклон зонда микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной к направлению перемещения зонда.

Наклон зонда должен быть не более 20°. При соблюдении дополнительного условия ортогональности вертикального перемещения зонда регистрируемая кривая будет симметричной и значение будет равно .

Примечание - Если значения и не равны, то это указывает на неортогональность вертикального перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения Z-сканера калибруемого микроскопа по 9.4.

8.3 Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 2, оформляют в виде протокола калибровки. Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки микроскопа.