ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

     10 Оценка неопределенности измерений параметров

10.1 Суммарную стандартную неопределенность , нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа вычисляют по формуле

,

где - масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;

- стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

- проекция наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

- стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа рельефной меры , пиксель;

- проекция наклонной стенки выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

Примечание - Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значение принимают равным 0,5 пиксель.

10.2 Суммарную стандартную неопределенность , нм, измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа вычисляют по формуле

,

где - цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель;

- стандартная неопределенность измерения высоты выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

- высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

- стандартная неопределенность измерения высоты выступа рельефной меры по видеопрофилю, пиксель;

- высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

Примечание - Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения высоты выступа, то вычисление осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значение принимают равным 0,5 пиксель.

10.3 Суммарную стандартную неопределенность , нм, измерения эффективного радиуса острия зонда микроскопа вычисляют по формуле

,

где - суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения, вычисленная по 10.1, нм/пиксель;

- ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

- стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания по видеопрофилю, пиксель;

- стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм.

Примечание - Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения ширины нижнего основания выступа, то вычисление осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значение принимают равным 0,5 пиксель.

10.4 Суммарную стандартную неопределенность относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности вычисляют по формуле