ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

     1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне.

Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже - "нанодиапазон".

Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния.

Примечания

1 Для целей настоящего стандарта термин "наночастица" относится ко всем объектам, имеющим один (нанопластина), два (нановолокно) или три (наночастица) размера в нанодиапазоне.

2 Как следствие, требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации наночастиц в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии учитывают также специфику процесса, например, используемое оборудование, поведение персонала и др.

3 Стандарт не рассматривает требования к охране здоровья и безопасности.