ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

ИСО и МЭК (IEC) предоставляет базу данных терминов для целей стандартизации по следующим адресам:

- ISO Online browsing platform - доступно по адресу http://www.iso.org/obp

- IEC Electropedia - доступно по адресу http://www.electropedia.org/