ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 12
Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
ОКС 13.040.35
19.020
07.030
Дата введения 2020-12-01